完美真人国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台问
发布时间:2021-06-08 15:17

  22日,记者从中国科学院长春景学精细机器与物理研讨所得悉,该所旗下长春景彩微电子装备工程中间有限公司(以下简称“光彩微电子”)胜利研制出海内首台商用12英寸全主动晶圆探针台。

  晶圆探针台是半导体行业主要的检测配备之一,用于晶圆加工以后、封装工艺之前的晶圆测试环节,卖力晶圆的运送与定位,使晶圆上的晶粒顺次与探针打仗并逐一测试。在这个过程当中,晶圆探针台能够将参数特征不契合请求的芯片记载下来,在进入后序工序前予以剔除,从而大幅度低落器件的制作本钱。

  晶圆探针检测历程手艺难度极大。“检测历程请求,在0.3秒内,晶圆探针台的几千到几十万根探针别离精准地对应到一个个巨细约为头发丝横截面四分之一的Pad盘上。”光彩微电子董事长田兴志说。

  因为探针台手艺门坎较高,今朝市场处于双强把持态势,东京电子(TEL)和东京精细(TSK)两家日本公司占有了绝大部门市场份额。光彩微电子于2015年正式立项展开12英寸全主动探针台产物研发,2019年起,前后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的出名企业停止了样机测试。“测试成果表白,产物曾经可以满意产线消费请求,曾经具有替换外洋入口装备用于晶圆探针检测的才能。”田兴志说。

  他暗示,光彩微电子研制的APT121A型探针台,作为海内第一款贸易化的12英寸全主动晶圆测探索针台,其机能目标曾经到达大概靠近国际程度。国产APT121A型探针台可以有用低落晶圆测试厂的采购及保护本钱。跟着市场推行和装备机能的不竭改良和提拔,势必对鞭策我国的半导体财产开展发生主动感化。

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