完美真人平台北京经济技术开发区
发布时间:2021-06-09 13:25

  克日,记者从区内企业东方晶源微电子科技 (北京) 有限公司(以下简称东方晶源)得悉,在硬科技范畴的王牌赛事中,其有关电子束方面的项目在近千个参赛项目中脱颖而出,摘得2020年前沿科技立异大赛“总决赛季军”及“集成电路范畴TOP10”两项大奖 。

  此次东方晶源获奖项目为“基于多电子束的10纳米以下集成电路制程缺点检测装备研发与财产化”,该获奖项目锁定了东方晶源将来产物研发的枢纽标的目的。东方晶源在集成电路良率办理范畴的打破,是海内集成电路财产链供给链自立可控的枢纽一步。

  “电子束缺点检测装备,是国产微电子范畴短板中的短板。”东方晶源有关卖力人暗示,芯片制作进入20纳米及以下节点后,枢纽制程的尺寸丈量和缺点检测的准确性和有用性将对产物良率发生决议化。纳米级电子束检测装备次要操纵扫描电镜的道理完成纳米级成像并基于成像停止丈量和阐发。该装备次要使用在芯片制作枢纽制程,属于芯片制作过程当中良率检测和掌握的必须环节,此类装备和手艺是我国集成电路行业 “洽商”手艺之一,而电子束图形缺点检测装备的降生则弥补了此项手艺的海内空缺。据理解,东方晶源电子束晶圆缺点检测装备使用电子束扫描手艺对硅片外表停止高分辩率成像,经由过程智能算法检测制作过程当中的物理和电性缺点,为集成电路的开辟与量产供给了高精度的检测和良率处理计划。

  北京经开区是高新手艺财产前沿阵地,高度正视开展集成电路财产,已逐渐成为天下集成电路财产会萃度最高、手艺程度开始进的地区。在经开区的策划规划及鼎力引聚下,华卓精科、燕东8英寸、耐威科技8英寸MEMS芯片、中电科、东方晶源、科益宏源等企业纷繁落户,今朝曾经构成了以中芯国际、北方华创为龙头,完美真人投注包罗制作、封装测试、配备、零部件及质料、设想等越发完整的集成电路财产链。

  作为三项国度科技02严重专项(极大范围集成电路制作手艺及成套工艺项目)及工信部产业强基专项的承接单元,东方晶源的手艺立异程度比年日新月异,不竭打破多项洽商手艺,研收回多项海内抢先手艺。此中,在硬件产物方面,东方晶源电子束晶圆缺点检测装备EBI已实如今客户端支流制程的考证并获得严重打破;枢纽尺寸量测配备CD-SEM也已完成设想和开辟,机能靠近国际支流产物程度;在软件产物方面,东方晶源计较光刻产物OPC今朝曾经经由过程25纳米存储器芯片工场量产考证,逻辑芯片产线考证也正在紧锣密鼓停止中。